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微型图案滤光片

微型图案光学滤光片综合了有专利技术保护的微型光刻技术和最先进的光学镀膜技术,使得光学系统的设计更小型化和更为简单。这一技术在单一的基片上实现了多个介质的、金属的、和彩色滤光镀膜阵列图案。

 

如今在专门为此而设计的新型世界级光学半导体晶圆加工厂中,标准化的工艺已经开发完成,并投入到这类滤光片阵列的制造中。该工艺可扩展到晶圆级玻璃或半导体批量生产,并支持每年交付数千万个定制的微型图案光学器件。

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