微型图案滤光片
微型图案光学滤光片综合了有专利技术保护的微型光刻技术和最先进的光学镀膜技术,使得光学系统的设计更小型化和更为简单。这一技术在单一的基片上实现了多个介质的、金属的、和彩色滤光镀膜阵列图案。
如今在专门为此而设计的新型世界级光学半导体晶圆加工厂中,标准化的工艺已经开发完成,并投入到这类滤光片阵列的制造中。该工艺可扩展到晶圆级玻璃或半导体批量生产,并支持每年交付数千万个定制的微型图案光学器件。
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Salvo的微型图案镀膜技术在众多的生物医疗、工业、和航天OEM的应用中提高了器件的性能,并使得下一代集成光学器件更紧凑、坚固、性价比更高。凭借着积累的工艺和技术,Salvo能够根据客户的应用或产品功能迅速设计出开发产品的有效方法,并提供技术可行性的方案。
关键设计参数取决于
- 基片:半导体晶圆、光学级玻璃、石英、或者其它材料
- 在单个基片上的滤光片波段数量(多光谱传感)
- 滤光片设计参数:透过波段、截止规格
- 几何特性:最小尺寸、形位公差
- 对齐精度和标识
- 定义操作、切割、测试和包装
在等级100/1000的晶圆加工洁净室内,设备都是经过挑选或定制的,旨在支持成像应用中的超小尺寸(μm)像素水平特性。镀膜的平台包括离子辅助蒸发、磁控溅射、和离子束溅射。在光刻实验室,半导体式的掩模对准器用于加工最大8英寸晶圆。
滤光片设计与材料
- 定制波长波段:紫外、可见光、近红外、短波红外
- 介质膜:带通、短波通、长波通、宽带增透等
- 金属膜:高反射、镀黑吸收、孔径框架、中密度等
光学技术利用 | 在工业上的应用 |
用于光谱学的多光谱传感 | 无创生物医疗影像 |
定制CCD & CMOS传感器的多光谱成像 | 遥感卫星、军工、和精准农业 |
精密分划板 & 对齐图案 | 工业质量控制和成像 |
图案化的像素和孔径 | 舞台照明混色 |
焦平面阵列 | 工业设备中的光强度控制 |
混色和调光 | 可穿戴消费电子的传感 |
可调 / 渐变滤光片 | 用于科学仪器的定制化集成光学 |